向李一凡介绍了量产计划:“目前已接到140台订单,包括中芯国际、华集团等国内主要芯片制造商。月产能为5台,预计年底可以提升到10台。”
李一凡点点头:“供不应求是好事,但也要注意保证质量。每一台设备的稳定性和精度都很关键,宁可慢一点,也要保证质量。”
尹志饶表示认同:“卫国团队对此非常重视,每台设备出厂前都要经过严格的测试和调整。我们正在建立一套完整的质量控制体系,确保每台设备的性能一致性。”
随后李一凡与卫国单独交谈,关心14n光刻机的研发进展。
卫国表情坚定而自信:“14n项目进展顺利,我们已经解决了纳米光学系统中的几个关键问题。预计明年一月就可以完成工程样机的订单,2016年底实现量产。”
“遇到什么困难了吗?”李一凡直接问道。
“最大的挑战是光源稳定性和精度控制。”卫国解释道,“在这个水平上,纳米级的精度要求对设备的每个组件都提出了极高的要求。我们已经找到了技术路线,但部分核心材料和零部件仍然需要进口。”
李一凡思索片刻:“材料和零部件的国产化是我们必须面对的问题。我已经协调省里和国家相关部门,加大对材料研发的支持力度。南大光电的光刻胶项目进展如何?”
“非常好。”卫国眼中激发出兴奋的光芒,“他们研发的新型光刻胶完全能满足28n的要求,现在正在向14n进军。这是产业链本土化的重要一步。”
离开中微公司,李一凡直接前往星城政府,召开半导体产业发展专题会议。会议的主要议题是制定《星城半导体产业发展五年规划(2015-2020年)》。
会议室里,各部门负责人和产业专家已经落座。李一凡开门见山:“今天‘星辰一号’的量产,标志着我们在半导体装备领域取得了历史性突破。但我们的目标是建立从材料、设计、制造到装备的完整产业链,实现半导体产业的全面崛起。请各位畅所欲言,为五年献计献策。”
市发改委主任刘向力首先发言:“根据初步测算,到2020年,我市半导体产业规模有望突破5000亿元。其中,集成电路设计1500亿元,制造2000