42n吧。”
毫无疑问,这个消息给中心所有人心中蒙上了阴影。
之前激动喜悦的情绪顿时荡然无存。
两位大佬刚谈论到这里。
实验室外突然传来一阵脚步声,紧跟着,门就被打开了。
见到来人,孙院士顿时露出了不怀好意的笑容,
“老王,来的正好,分享你一个惊喜!”
王院士神情虽然有些疲倦,但还是强打起精神哈哈一笑,拿着陆凡邮件的光刻机复印件走了过来:
“巧了,我也有个惊喜想给你分享分享!”
“杯子拿稳了!”
孙院士暗暗摇头,心想,你们能有什么好消息?不会又是一些鸡毛碎皮的小突破吧?
心里虽然这么想,但表面上依旧一团和气道:
“我们俩谁先说?”
“你年纪大,你先吧!”王院士呵呵道。
孙院士不爽了,“你年纪小,你先说。”
“那好,我不客气了!”王院士笑眯眯的将复印件递了过去。
孙院士翻看着复印件,一开始还非常不屑一顾。
1nx射线光刻机光源技术?
开什么玩笑!
x射线虽然波长比euv极紫外线更短,精度更高。
但不稳定性和不连续性却是个天大的麻烦。
有攻克这个难题的功夫,本国早就把光刻机的技术精度推到10n了。
“拓子晶体激发的量子限域高次谐波x射线扑光子晶体激发的量子限域高次谐波x射线光源,基于量子点超晶格与自聚焦等离子体通道的1n波段相干光源!
“采用飞秒激光(脉宽5fs,峰值功率10)轰击氖/氪混合气体靶,诱导多体量子隧穿效应,产生高亮度宽谱x射线(05-2n)。
“通过自旋轨道耦合调制,使等离子体形成周期性涡旋结构,提升高次谐波转化效率至~5x10(传统hhg的50倍”
看着看着,孙院士脸上的不屑瞬间凝固,只感觉头皮发麻,手上拿着的咖啡杯顿时落在地上,摔碎。
卧槽!
这是哪个妖孽设计的光源系统?