太精妙了!
有些地方简直让他茅塞顿开,灵感迸发,差点就要当场来个‘龙场悟道’。
不过,自己的那些灵感与人家这份技术上的思路,还是差太远了。
看完后,孙院士有些意犹未尽,
“按照上面的流程和方案,完全可行,足以解决x射线光源的不稳定性和不持续性的毛病。”
“理论上,x射线的分辨率小于等于01n,套刻精度小于等于03n。工业级芯片量产精度至少04n!”
“哪怕我国的物镜工艺再差劲,计算上光精度损耗,工业级芯片的精度可以实现1n!完全不需要什么高精尖光学透镜。
“甚至还能反过来倒逼光学透镜产业,让蔡司、尼康统统滚出光刻市场!”
“老王,这是美国哪位天才设计的光源系统?到光学元件表面镀制单层二硫化钼/石墨烯异质结,利用热电子超扩散效应后,怎么没有下文了?”
在孙院士眼里,只有美国的天才才能设计出如此巧妙且牛逼的光源系统。
至于国内的天才,他倒不是崇洋媚外,而是真不行。
这和科研环境有非常大的关系。
王院士摇了摇头:
“国内一个医学院士写的东西,正主还在查。但应该不是美国人。”
“医生?”孙院士感觉自己的脑子仿佛被锤子给砸了一下,脑瓜子嗡嗡嗡的。
什么时候医生都能跑过来研究光刻机,而且还比他们这些专业人士还猛?
这特么是哪位弃医从芯的天降猛人?要不要这么猛啊,上来就搞1n光刻机光源。各咱们留个活路吧!
瑟瑟发抖。
孙院士开始瑟瑟发抖了。
如果他知道陆凡有一整套1n光刻机的技术,恐怕会更震惊。
“这下见识到人外有人,天外有天了吧?”王院士深有同感的拍了拍老孙的肩膀,问道:
“技术怎么样?能不能应用?”
应用,也就是直接从理论论证,转入工业量产。
一般而言,这个过程往往需要数年时间。
王院士主理论,孙院士主应用。
陆凡的1n光刻机光源技术